深圳新聞網2025年5月8日訊(記者 曾毅偉)近日,2025年廣東省慶祝“五一”國際勞動節暨勞動模范、先進工作者和先進集體表彰大會在廣州舉行。深圳中科飛測科技股份有限公司(以下簡稱“中科飛測”)研發總監、首席科學家黃有為當選2025年廣東省勞動模范。作為國內半導體晶圓檢測行業的龍頭企業,中科飛測以黃有為博士為首的科研團隊攻堅克難,屢屢創造行業奇跡,攻克多項國外“卡脖子技術”,打破國外企業的壟斷局面。
學成報國,投身時代洪流
2010年,黃有為畢業于北京理工大學光學工程博士專業。彼時,國內半導體行業發展遭遇瓶頸期,遠遠落后于國際水平,國家開始在光刻機領域積極攻關布局,設立重大專項。在這一背景下,他毅然決然地投身半導體行業,加入清華大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室從事博士后研究工作,參與國產光刻機的研發工作。
從清華大學博士后出站后,黃有為加入了中國科學院微電子研究所,擔任助理研究員。這一期間,他對國際半導體行業發展的形勢、半導體集成電路裝備有了更深入的理解和認知,逐漸奠定了自身的理論與技術的基礎。
2016年,黃有為加入中科飛測公司,擔任SPURCE團隊負責人。此時,他在業內已是小有名氣的科學家,而中科飛測剛處于起步階段。“當時的(中科)飛測公司在微電子研究所旁邊的一棟居民樓里,只有200㎡左右,里面環境特別差,來面試的畢業生還以為進了傳銷組織。”談及自己的這一選擇,黃有為顯得異常堅定,“雖然條件艱苦,但是在這工作的每一個人都很有熱情,大家始終抱著攻堅克難的決心,一定要研制出國產的半導體晶圓檢測設備。這也是我加入(中科)飛測公司的一個重要原因。”
在黃有為的帶領下,2017年,中科飛測SPURCE團隊研制出了國內首臺面向90-65nm節點的SPRUCE-600無圖形晶圓表面檢測設備,滿足國內相應節點半導體制造企業的需求,實現了國產無圖形晶圓光學檢測設備從無到有的突破。
面對困境,大膽跳代研發
中科飛測歷經十年發展,掌握了多項長期被國外企業壟斷的“卡脖子技術”。以激光掃描與成像探測技術為例,要求在直徑300毫米的晶圓上,實現一分鐘之內對十幾納米級別的缺陷進行完整的掃描與檢測。
談及這項技術,黃有為舉了個十分形象的例子,“這就相當于在深圳2000平方公里的土地上,一分鐘之內檢測出所有和足球一般大小的缺陷,而且要分清楚檢測的是籃球還是足球。”而這些核心技術形成的背后,隱藏著一個曾經改變公司走向的大膽決定。
2017年,在研制出了首代國產無圖形晶圓表面檢測設備后,黃有為面臨著一個兩難抉擇。是按部就班繼續研制第二代設備,還是對標國際頂尖水平,直接研制最先進的第四代設備?經過深思熟慮后,黃有為做出了一個令人意外的選擇:直接研制最先進的第四代設備。
“跨代研發所面臨的風險是巨大的,無論是技術還是資金,稍有不慎,可能數年的努力都會前功盡棄。但是,如果不跨代,我們永遠都會跟在別人身后,始終無法滿足最前沿的市場、客戶的需求,所以,這個代再難跨,我們也必須跨過去。”黃有為談道。
功夫不負有心人,最終,黃有為團隊僅用三年時間,就實現了從90nm到14nm多個工藝節點的跨越式發展。如今,中科飛測已在上海證券交易所科創板上市,公司生產的半導體檢測設備出貨量超過1000臺,產品覆蓋國內超100家客戶,市場份額躍居全球第二,儼然邁向國際頂尖水平。
政策扶持,行業前景光明
近年來,中科飛測積極招賢納士,每年研發人員的增長率超過30%,為行業、國家培養了諸多優秀的后備人才。這一優異數據的背后,離不開深圳市、龍華區的多項政策支持。
“自從中科飛測落地龍華區以來,市里和區里都給予了各方面的支持與服務。尤其是人才方面,例如龍華區的‘龍舞華章計劃’,為我們留住人才提供了重要的支持和保障。”黃有為說道。
隨著越來越多的青年才干的加入,國內半導體領域呈現出蓬勃的發展態勢。談及對行業未來發展的看法,黃有為引用了一句名言:前途是光明的,道路是曲折的。
“大家都知道芯片對我們生活產生的影響是覆蓋方方面面的,國外的芯片在某些領域仍有一定的技術優勢。但這些僅存的技術優勢又能持續多久呢?如今國內半導體行業發展的速度是十分驚人的,我有信心在3-5年內對國外壟斷企業進行追趕,在5-10年內實現超越,這不僅是我的底氣,也是中國半導體的底氣。”黃有為堅定地說道。
就在5月6日,中科飛測發布了明場納米圖形晶圓缺陷檢測設備REDWOOD-900。據悉,這款設備制作的難度和復雜度僅次于光刻機,被稱為半導體檢測裝備的皇冠上的明珠。